CLEAN설비 개요
300mm Slilcon Wafer에 Etching, Cleaning, Rinse, Dry를 주된 공정으로 하는 설비
공급 UNIT
 |
| Index Unit |
 |
| Robot Driver MTR Box |
 |
| Robot Driver IDR Box |
 |
| AC/DC 통합 Power Box |
 |
| Main 분전반 |
| |
| Index Unit |
| |
| Robot Driver MTR Box |
| |
| Robot Driver IDR Box |
| |
| AC/DC 통합 Power Box |
| |
| Main 분전반 |